尊崇的投资者您好

请问贵司化学机械抛光液产物中是硅溶胶和气相二氧化硅连系利用吗?仍是别离有分歧的产物?有投资者向安集科技提问,您好,同花顺300033)金融研究核心1月28日讯,

公司回覆暗示,卑崇的投资者您好,公司化学机械抛光液产物别离包罗硅/多晶硅抛光液, 浅槽隔离(STI)抛光液,介电材料(二氧化硅、氮化硅)抛光液,钨抛光液,铜及铜层抛光液,三维集成(TSV、夹杂键合等)抛光液和使用于第三代宽带半导体的抛光液等系列产物。分歧系列抛光液中利用到的研磨颗粒的品种、占比均不不异,感谢您的关心!